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光学镀膜镜片的特点

2021-09-22 02:07:25

光学镀膜镜片的光学性质,如折射率、吸收和激光损伤阈值,主要依赖于膜层的显微结构。薄膜材料、残余气压和基底温度都可能影响薄膜的显微结构。如果蒸发沉积的原子在基底表面的迁移率低,则薄膜会含有微孔。当薄膜暴露于潮湿的空气时,这些微孔逐渐被水汽所填充。

填充密度定义为薄膜固体部分的体积与薄膜的总体积(包括空隙和微孔)之比。对于光学薄膜,填充密度通常为0.75~1.0,大部分为0.85~0.95,很少达到1.0。小于l的填充密度使所蒸发材料的折射率低于其块料的折射率。

在沉积过程中,每一层的厚度均由光学或石英晶体监控。这两种技术各有优缺点,这里不作讨论。其共同点是材料蒸发时它们均在真空中使用,因而,折射率是蒸发材料在真空中的折射率,而不是暴露于潮湿空气中的材料折射率。薄膜吸收的潮气取代微孔和空隙,造成薄膜的折射率升高。由于薄膜的物理厚度保持不变,这种折射率升高伴有相应的光学厚度的增加,反过来造成薄膜光谱特性向长波方向的漂移。为了减小由膜层内微孔的体积和数量所引起的这种光谱漂移,采用高能离子以将其动量传递给正在蒸发的材料原子,从而大大增加材料原子在基底表面处凝结期间的迁移率。

光学镀膜镜片

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