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浙江青处光电科技有限公司带你了解

2021-12-03 03:06:17

浙江青处光电科技有限公司带你了解,改进思路:消除灰尘源。

改善对策:

1.清洁车间的工作环境改造严格按照清洁车间的规范进行。

2.尽量做好环境卫生工作。尽量使用干净的工作台。

3.真空室周期清洁,保持清洁。

膜外白雾

现象:涂层完成后,表面有一些淡淡的白雾,用丙酮或混合物擦拭,越严重。可以擦掉或减少用氧化锆粉擦拭(也称:可擦拭压克)

分析:膜外白雾的原因比较复杂,可能的原因有:

①膜结构问题:外膜柱状结构松散,外膜过粗糙;

②蒸发角过大,膜结构粗糙。

③.温差:镜片出罩时内外温差过大。

④水分;镜片出罩后放置环境水分。

⑤真空室Polycold解冻时水蒸气过重。

⑥蒸镀充氧不完全,膜结构不均匀。

⑦膜与膜之间的应力。

改进思路:膜外白雾的原因很多,但各有特点,尽量对症下药。主要思路是薄膜致密光滑,不易吸附,二是改善环境,减少吸附对象。

改善对策:

1.改善膜系,外层加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善镜片出罩时的环境(干燥、清洁)

2.降低镜片温度(延长真空室冷却时间),降低温差,降低应力。

3.改善充氧(增加)和膜结构。

4.适当降低蒸发速率,改善柱状结构。

5.离子辅助涂层,改善膜结构。

6.加上polycold解冻时的小充气阀(其功能是及时带走水蒸气)

7.想办法从蒸发源和夹具上改善蒸发角。

8.改善基板表面粗糙度。

9.注意polycold解冻时的真空度。

膜内白雾

膜内形成白雾,不能通过擦拭去除。

可能的原因:

(1).基片脏,附着前工程残留物。

②.镜片表面腐蚀污染。

③膜材料与膜材料之间的不匹配。

④.氧化物充氧不足。

⑤.一层氧化锆膜可能会对某些基板造成白晕。

⑥.基片进罩前(洗净后)受潮污染。

⑦.清洗或擦拭不良,清洗痕迹,擦拭痕迹。

⑧真空室脏,水气过重。

⑨.环境湿度高。

浙江青处光电科技有限公司

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